洁净室施工及验收规范之水、气、电系统

第一节   洁净室一般规定

第４１１条洁净室内的给水排水、消防设施、气体动力、电气照明等施工，除应符合本规范外，尚应符合现行国家标准《采暖与卫生工程施工及验收规范》ＧＢＪ２４２、《工业管道工程施工及验收规范》ＧＢＪ２３５、《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》ＧＢＪ２３６、《电气装置安装工程施工及验收规范》ＧＢＪ２３２和《工业自动化仪表工程施工及验收规范》ＧＢＪ９３的有关规定。

第４１２条给水排水管道和气体动力管道穿过洁净室的墙壁和楼板应设套管，套管内的管段不得有接头，管子与套管之间必须用不燃和不产尘的密封材料封闭。

第４１３条明装或暗装的电气线管，其管材应采用不燃材料，洁净室内线管的管口应用不产尘的密封材料封闭。

第４１４条洁净室内的管道外表面的保温层，应采用不产尘的不燃或难燃的保温材料，保护层应采用金属保护壳。对于生物洁净室，管道保护壳缝隙应作防水密封处理，保护壳材质应能抗消毒剂的浸蚀。

第４１５条给水排水管道和气体动力管道的强度试验、气密性试验、真空度试验和泄漏量试验，当设计无要求时，应按有关规范执行。

第４１６条水、气、电系统安装应与其他工程密切配合，严格按程序施工，并符合附录二的要求。

第二节   洁净室给水排水

第４２１条洁净室内的给水管道的材质必须符合设计要求。设计无要求时，各类给水管道的材质宜符合下列规定；

一、给水管道、工艺设备的冷却循环水管道宜为镀锌钢管；

二、纯水、高纯水管道为不锈钢（ＳＵＳ）管、硬聚氯乙烯（ＰＶＣ）管、聚丙烯（ＰＰ）管和工程塑料（ＡＢＳ）管等；

三、管道的配件应采用与管道相应的材质。

第４２２条纯水和高纯水采用不锈钢（ＳＵＳ）管、硬聚氯乙烯（ＰＶＣ）管、聚丙烯（ＰＰ）管和工程塑料（ＡＢＳ）管，其化学成分及物理性能应符合设计要求。

第４２３条纯水和高纯水管道、管件、阀门安装前必须清除油污和进行脱脂处理。

第４２４条纯水、高纯水采用硬聚氯乙烯（ＰＶＣ）管、聚丙烯（ＰＰ）管和工程塑料（ＡＢＳ）管时，其管道安装应符合下列要求：

一、管道安装必须在环境清洁，室温在５℃以上，相对湿度在８５％以下的条件下进行；

二、管道的连接宜采用粘接、焊接、平焊法兰连接及活接头连接；

三、管道或管件的承口不得歪斜和厚度不匀。管端不得有裂缝。管道的承插间隙不得大于０１５～０３ｍｍ；

四、管道在粘接前，应对表面进行砂磨处理和清洁处理，不得沾污，粘接时必须保证插入承口的深度；

五、法兰面应平整光滑，密封面应与管道中心线垂直；

六、活接头的接管与管道应采用粘接、焊接或螺纹连接；

七、埋地敷设时，必须对垫层进行处理或设简易管沟；安装在地面上时，应设防护罩；

八、管道采用焊接或平焊法兰连接时，管道或法兰应根据不同厚度加工坡口，焊缝及坡口形式应符合表４２４的规定，焊缝应填满，不得有焦黄、断裂、虚焊等现象，焊缝强度不得低于母材的６０％，焊条材质应与管材相同。

第４２５条纯水、高纯水管道采用不锈钢（ＳＵＳ）管时，其管道安装应符合下列要求：

一、管道连接宜采用焊接、焊环活套法兰和凹凸法兰等连接方式；

二、焊接应采用钨极氩弧焊打底，手工电弧焊盖面工艺；

三、采用分段组装工艺的翻边管、三通、弯头等部件焊接时，管内应充氩气保护，使焊缝表面光滑无氧化现象；

四、管道部件的点固焊应与焊接相同，必须采取措施，防止焊缝氧化；

五、管道部件焊接后应将管内焊缝氧化物清刷冲洗掉，再用四氯化碳脱脂，然后封闭管口；

六、设计无要求时，法兰垫片宜采用聚四氟乙烯或软质聚氯乙烯板。

第４２６条纯水、高纯水管道系统强度试验合格后，在系统运转前必须进行清洗，清洗后的水质应符合设计要求。

第４２７条洁净室内的地漏或排水漏斗安装后必须封闭。

第４２８条与设备连接的排水管，当采用螺纹连接时，不得使用铅油麻丝。

第三节   洁净室消防设施

第４３１条暗装消火栓的立管，安装位置必须与土建施工密切配合，不得外露。

第４３２条安装在洁净室内的消火栓，其水龙带和消火栓箱内外必须擦洗干净。

第４３３条明装的消火栓箱的箱背应紧贴墙面，并将缝隙用密封胶密封。

第４３４条自动灭火系统的喷头短管穿过吊顶处，必须封闭严密。

第４３５条火灾探测器应安装在*近回风口处，距墙壁或梁的距离应大于０５ｍ，距送风口的距离应大于１５ｍ，距全孔板送风口的距离应大于０５ｍ。

第４３６条在卤代烷灭火系统的灭火瓶站的集流管上应连接通至室外的泄压管，并在泄压管上安装截止阀。

第四节   洁净室气体管道

第４４１条本节适用于洁净室内压力小于等于０８ＭＰａ的氢气、氧气、氮气、压缩空气、煤气等一般气体和高纯气体管道及真空管道的安装。

第４４２条气体管道管材的型号、规格、化学成份及物理性能应符合设计要求。管道的表面无裂纹、缩孔、夹渣、起瘤、折迭、重皮、锈斑和麻点等缺陷。

第４４３条气体管道的附件应符合下列要求：

一、阀门与氧气接触部分不得用可燃材料，其密封圈应采用有色金属、不锈钢及聚四氟乙烯等材质。填料用经脱脂处理的聚四氟乙烯；

二、气体管道的法兰垫片应符合设计要求，材质柔软、无老化变质和分层现象，表面不应有折损和皱纹等缺陷；

三、氢、氧管道的附件、仪表及过滤器等，其材质、型号和规格应符合设计要求，并有符合该介质条件的出厂合格证书。

第４４４条气体管道安装应符合下列要求：

一、管道敷设应符合设计要求，设计无要求时，输送干燥气体的管道宜水平安装；输送潮湿气体的管道应安装成有不小于０００３的坡度，坡度应坡向冷凝水收集器；

二、管道的连接采用焊接，并采用钨极氩弧焊打底，手工电弧焊盖面工艺。不锈钢管焊接或点固焊均应采取管内充氩保护措施；

三、气体管道与设备、阀门及其他附件应采用法兰或螺纹连接。螺纹接头的填料必须采用聚四氟乙烯薄膜；

四、通过洁净室的气体管道，其法兰垫片或螺纹填料的外露部分，必须清理干净；

五、气体管道采用喷砂除锈或酸洗钝化的无缝钢管时必须采用集中安装方式，并在４８ｈ内分段组合安装，充入压力不小于０２ＭＰａ的氮气保护；

六、有接地要求的气体管道，法兰间必须焊有导电跨线，其导线截面及焊接搭接长度应符合设计要求，焊点必须牢固、可*。

第４４５条高纯气体管道的安装，除应符合第４４４条有关要求外，还应符合下列要求：

一、经脱脂或抛光处理的不锈钢管，安装前必须采取保护措施，严防二次污染；

二、管口切割后，应进行清洗，再进行分段组装焊接；

三、管道预制、分段组装作业，必须在环境清洁的条件下进行，严禁在室外露天作业；

四、分段预制或组装的管段两端应用塑料布或盲板封闭，不得污染。

第４４６条无缝钢管的处理应符合下列要求：

一、无缝钢管安装前应清除管内外表面的铁锈、污物。管道内壁除锈应根据设计要求进行，当设计无要求时，可按其管内锈蚀情况采用一般除锈、喷砂除锈和酸洗、钝化处二、氢、氧管道安装前，必须对油渍、铁锈进行除锈或酸洗后再进行脱脂处理；

三、钢管酸洗、钝化或脱脂后，应清除管内残留的溶液，并将处理合格的管道及时封闭管口；

四、脱脂后的管道、管件和垫片，安装前必须严格检查，用清洁、干燥的白色滤纸擦拭，不出现油迹为合格。

第４４７条气体管道各项试验合格后，必须用经过滤器去除尘埃后的无油压缩空气或高纯氮气吹扫，流速大于２０ｍ燉ｓ，并以木槌在管道各处轻轻敲击，直至末端无水迹、脏物为合格。高纯气体管道系统，末端测定的尘埃数，达到设计要求为合格。过滤器的过滤效率应满足气体管道系统工艺对尘埃的要求。

第４４８条气体管道吹扫合格后，应再以实际输送的气体和压力，对管道系统进行吹扫，在运行条件下无异常声音和振动为合格。气体管道输送可燃性气体之前，应用惰性气体置换。

第五节   洁净室电气装置

第４５１条洁净室内的配电盘、柜，内部不得有灰尘，盘、柜门应能关闭严密。

第４５２条暗装插座、暗装插座箱和开关的接线盒内必须清扫干净，紧贴墙面，安装端正。

第４５３条灯具安装前必须擦拭干净。嵌入吊顶内的暗装灯具，其灯罩的框架与吊顶接缝必须进行密封处理。明装的吸顶日光灯具，其灯架应紧贴吊顶。

第４５４条洁净室内的接线盒或拉线盒，其盒内不得有灰尘，盒盖必须连接严密。

第４５５条电线管进入接线盒或配电盘、柜，穿线后必须密封严实。

第４５６条洁净室内安装的火灾探测器，空调温、湿度敏感元件及其他电气装置，在净化空调系统试运转前，必须清扫至无灰尘。对于生物洁净室，还应采取防水防腐蚀措施。